Technical publications
Contrôle de la pression d'une chambre à vide sans vanne
à l'aspiration de la pompe turbo moléculaire par le système Adixen Ehaust Pressure Control (EPC)
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Le contrôle de la pression avec précision et rapidité pendant les procédés de plasma de l'industrie est un point critique pour augmenter la productivité, il peut être en effet déterminant pour l'uniformité d'un dépot par exemple. Alcatel Vacuum technology présente dans cet article les résultats du système Adixen Exhaust Pressure Control (EPC) développé pour contrôler la pression de la chambre en absence de la vanne de régulation. |
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